Defnyddir WF6 yn bennaf fel deunydd crai ar gyfer y broses dyddodiad anwedd cemegol (CVD) o dwngsten metel yn y diwydiant electroneg. Gellir defnyddio WSi2 a wneir o WF6 fel deunydd gwifrau mewn cylchedau integredig ar raddfa fawr (LSI), a gellir ei ddefnyddio hefyd fel deunydd crai ar gyfer electrodau lled-ddargludyddion, deunyddiau crai fflworin ar gyfer asiantau cemegol, catalyddion polymerization, deunyddiau optegol, ac ati.